Products
產(chǎn)品目錄
- 實(shí)驗常規(guī)儀器和其它
- 光刻機(jī)
- 混合器
- 切片機(jī)
- 吸管
- 液壓機(jī)
- 均化器
- 冷凍機(jī)
- 讀數(shù)器
- 制冰機(jī)
- 監(jiān)視器
- 熱風(fēng)槍
- 絮凝器
- 循環(huán)浴
- 儲存箱
- 色譜罐
- 支架
- 儀器
- 防潮箱
- 電熱包
- 分解爐
- 試驗器
- 冷凍干燥機(jī)
- 旋涂儀
- 浴槽
- 均質(zhì)機(jī)
- 分析/測量儀器
- 球磨機(jī)
- 涂布
- 熔點(diǎn)儀
- 實(shí)驗通風(fēng)柜
- 粘度計
- 旋光
- 移液器
- 安全柜
- 處理器
- 折光儀
- 萃取器
- 導(dǎo)率儀
- PH計
- 比色計
- 試管
- 光度計
- 循環(huán)儀
- 過濾器
- 濾紙
- 反應(yīng)器
- 打印機(jī)
- 溫度計
- 控制器
- 制備器
- 下沉砝碼和玻璃連接物
- 硅管
- 循環(huán)器
- 除霜器
產(chǎn)品中心
您現(xiàn)在的位置：首頁 > 產(chǎn)品展示 > 實(shí)驗常規(guī)儀器和其它 > 旋涂儀 > POLOS® SPIN150X旋涂機(jī) PTFE 標(biāo)準(zhǔn)版
POLOS® SPIN150X旋涂機(jī) PTFE 標(biāo)準(zhǔn)版
POLOS® SPIN150X旋涂機(jī) PTFE 標(biāo)準(zhǔn)版
POLOS® SPIN150x是一種多功能、高質(zhì)量的基材旋涂機(jī)，由PTFE制成。它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計。
可以同時實(shí)現(xiàn)臺式（Table top）和嵌入式（In-deck）版本，用于手動或自動（可選）化學(xué)藥劑分配。
適用于涂層、清潔、沖洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 及其他工藝。
POLOS® SPIN150X旋涂機(jī) PTFE 標(biāo)準(zhǔn)版
腔室規(guī)格：
- 最大支持6英寸（150毫米）晶圓
- 最大支持4英寸×4英寸（100毫米）基板
- 材料： PTFE
硬件規(guī)格：
- 液體過濾器
- 特殊的外殼和排水口設(shè)計，可在現(xiàn)場切換臺式和內(nèi)嵌式型號
- 用于注射器或分配噴嘴的中心注射座
- 蓋鎖和真空傳感器確保用戶安全
- 大型（可拆卸）觸摸顯示屏
- USB 端口，用于在 USB 驅(qū)動器上存儲配方和進(jìn)行軟件更新
- 3 個輸入/輸出端口
驅(qū)動裝置規(guī)格：
- 間接無刷驅(qū)動裝置
- 最高 12,000 RPM（取決于基體/卡盤）
- 高加速度和高精度
- 加速/減速 1-30,000 RPM
- CW、CCW旋轉(zhuǎn)和Puddle選項
隨附旋涂儀卡盤和適配器
- 隨附1個A-V36-S45-PTFE-HD真空卡盤.
- 隨附1個D-V10-S50-PTFE-HD碎片適配器.
- 由FCA SPS-Europe, The Netherlands提供
在線客服